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當(dāng)前位置：上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>合肥科晶總代理>>退火爐>> GSL-2000X-HV高溫/高真空退火爐
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：•采用SS304不銹鋼真空腔體，尺寸：凈666mm×560mmH
•底部樣品臺電動(dòng)升降，裝卸樣方便快捷
•最高真空度：10-6Torr
•最高工作溫度：2000℃
基本參數(shù)
| 電源 | AC380V50/60HZ |
| 功率 | 22KW |
| 加熱元件 | 石墨 |
| 加熱空間尺寸 | 220×280mmH |
| 理想放樣空間尺寸 | 中180mm×160mmH |
| 加熱元件最高工作溫度 | 2000℃ |
| 升溫速率 | 室溫-1000℃≤15℃/min,1000-1600℃≤10℃/min,1600-2000℃≤8℃/min |
溫控系統(tǒng)：•PLC+人機(jī)界面控制
•C型熱電偶進(jìn)行測溫和控制
•PID控制
•具有超溫及斷偶報(bào)警功能
•控溫精度：±1℃
•可安裝PC控制軟件對數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集（選配)
控制系統(tǒng)：設(shè)備的抽真空，加熱等操作全部在電腦上運(yùn)行
真空度：•冷態(tài)下可達(dá)到的最高真空度（真空泵另購）：
8*10-6Torr（采用分子泵機(jī)組，配套抽真空口CF160接口)
5*10-2Torr（采用機(jī)械泵機(jī)組，配套抽真空接口KF40接口)
機(jī)械泵（選配）：•型號：VRD-48
•抽氣口接口尺寸：KF40
•抽氣速率：（48m3/h）13.3L/S
•電機(jī)功率：1500W
•極限壓強(qiáng)4×10-2pa
分子泵（選配）：•抽氣速率：700L/s
•極限壓強(qiáng)：6×10-6Pa
•啟動(dòng)時(shí)間：≤9min
•額定轉(zhuǎn)速：36000rpm/min
•冷卻方式：水冷
•抽氣口接口尺寸：CF160
水冷設(shè)備（選配）：型號：CT-6300
•輸入電壓：220-240V50HZ
•水箱容量：45L
•水流量：70L/min
氣路系統(tǒng)（選配）：•真空腔室預(yù)留一個(gè)抽真空KF40抽真空接口，預(yù)留一個(gè)手動(dòng)排氣口（通空氣），預(yù)留18 個(gè)進(jìn)氣和出氣孔，上、中、下各分布6個(gè)氣孔。同時(shí)在進(jìn)氣和出氣端共配置3個(gè)電磁閥，可以通過控制面板控制電磁閥的通斷,同時(shí)電磁閥出口處安裝卡套接頭，方便客戶自己手動(dòng)安裝電磁閥和腔體預(yù)留18個(gè)進(jìn)氣孔之間的連接方式。
•其中在一路進(jìn)氣端安裝有一個(gè)單向閥門。
設(shè)備外型尺寸：1850mm*1000mm*2080mm*(長寬高）
重量：約620kg
注意事項(xiàng)：由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向腔室內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa,
建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全；
對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)；不建議關(guān)閉法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，
若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等)
我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，
請客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負(fù)責(zé)。
降溫時(shí)請利用程序降溫，不建議直接降溫，設(shè)備溫度在100℃以上時(shí)不要直接關(guān)掉水冷設(shè)備電源，防止出現(xiàn)安全問題
